南関町に半導体製造装置の新工場２棟を増設
　荏原製作所

　風水力機械、環境プラント、半導体製造装置置製造の�渇`原製作所（東京都大田区羽田旭町、前田東一社長）は、南関町肥猪の熊本事業所内に半導体製造装置を生産する新工場２棟を増設する。３月２日、熊本県庁で南関町と立地協定を結んだ。
　需要拡大が見込まれる半導体設備投資や顧客のニーズに柔軟に対応するため、精密・電子事業の基幹生産工場である熊本事業所の増強を図るもの。熊本事業所の敷地約１４万�uに、既存の工場設備とほぼ同規模の鉄骨造り３階建て、延べ床面積２万１６００千�uの新工場（Ｋ２棟）を建設する。また、グループ会社の�渇`原フィールドテックが九州・中国地域を中心としたドライ真空ポンプのオーバーホール拠点として、別棟で２階建て、延べ床面積３８００�uのサービス工場を新設する。
　新工場では主力生産機種であるＣＭＰ装置（半導体チップの多層化に必要な平坦性を実現する研磨装置）を製造する柔軟性の高い生産設備を導入し、生産能力を約２倍に増強する。また、クリーンルーム内の空調で使用する電力の半減や生産過程で使用された水の９５％以上を再利用するなど、環境負荷低減や周辺環境との調和に努め、地域との共生を図る。着工は新工場が３月、サービス工場が５月で、操業開始は共に１２月を予定。新工場建設を機に新たに２６人を採用し、熊本事業所の従業員数は１４５人程度になる。同社では２００１年に開設した精密・熊本工場以来の大型設備投資で、総投資額は６８億円。
　立地協定の調印式後に会見した前田社長は「半導体は自動車やエネルギー、メディカル分野などに加え、ＩｏＴ（インターネットオブシングス）の進展に伴い、需要の拡大が期待できる。特にＣＭＰ装置においては用途や製造プロセスなどの多様なニーズによる市場の伸長が見込まれ、顧客ニーズに柔軟に対応し、事業拡大を図っていきたい」と語った。