熊大に半導体製造装置開発センターを開設・・・・山口県の長州産業

　太陽光電池の製造販売や半導体用成膜装置の設計・製作などを手掛ける長州産業�梶i山口県山陽小野田市、岡本晋社長）は１０月１日、熊本大学の研究棟「ＳＯＩＬ（ソイル）」に半導体製造装置開発センターを開設した。
　同棟に企業が入居するのは初めて。名称は「長州半導体製造装置開発センター」。熊本大学工学部半導体デジタル研究教育機構の百瀬健教授と共に超臨界流体薄膜推積法（ＳＣＦＤ）を用いた半導体デバイス製造装置を開発する。
　ＳＣＦＤは、高温高圧の環境に置くことで作り出される特殊な流体を用いて半導体に均一に薄い膜を形成する技術。装置の開発を２７年度までに行い、実用化を目指す考え。研究員３人を常駐させ、熊大の特任教員と技術補佐員、学生で研究を進める。
　１７日に開かれた開所式で岡本社長は「この機会に当社の成膜技術を見直しブラッシュアップを図る。また、ＳＣＦＤの研究が進めば３次元積層技術の高度化にもつながる。乗り越えるハードルは高いが、挑戦していきたい」と意気込みを語った。
　長州産業は１９８０（昭和５５）年設立。太陽光発電システムや蓄電システムなどを製造販売するほか、有機ＥＬデバイス、半導体、液晶パネルの製造装置の設計からメンテナンスまでを手掛けている。事業所は宮城や東京、愛知など全国に１５カ所あり、米国、中国に海外拠点を置く。今年６月３０日付で第二電力�梶i現、CPower�梶jを子会社化した。２５年３月期決算の売上高は７２７億３５００万円。